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行業(yè)資訊
金剛石砂輪制造技術(shù)介紹
      金剛石砂輪制造技術(shù)員是目前具有代表性的金剛石生長(zhǎng)技術(shù)之一,早在上個(gè)世紀(jì)80年代,日本DFGFDF等人用熱絲去沉積出了高質(zhì)量的多晶剛石膜,從此以后,出現(xiàn)了很多不同的代學(xué)氣相沉積金剛石膜系統(tǒng),如熱絲法,微波等離子法,直流離子輔肋法,火焰燃燒法,在熱絲的作用最為關(guān)鍵,它不僅可以使氫分子部分地離解成原子,還可以加速甲烷氣體分解贈(zèng)生具有合成金剛石必須的SP雜化軌道的碳原子基團(tuán),氫原子可以飽和生長(zhǎng)中的金剛石表面碳原子,懸空的SP分子,形成C-H組合成SP,而使金剛石表面趨于穩(wěn)定,同時(shí)它也可以去除與金剛石共同沉積的石墨及無(wú)定型碳,為了增強(qiáng)熱絲活化區(qū)域和溫場(chǎng)均勻分布.必須特別注意熱絲的排布方式.
      當(dāng)前,代表性金剛石砂輪生長(zhǎng)技術(shù)員是大面積熱絲技術(shù)各大功率徽波技術(shù),,大面積的熱絲技術(shù)是當(dāng)前廣泛應(yīng)用和比較成熟的產(chǎn)業(yè)化技術(shù),它的生長(zhǎng)面積已積過(guò)到直徑500MM以上,該方法在涂層應(yīng)用方面相當(dāng)成功.代表性企業(yè)有很多.
      近10年來(lái).我國(guó)開(kāi)發(fā)了部分世界上現(xiàn)有生長(zhǎng)技術(shù),其中,開(kāi)發(fā)最好是熱絲金剛石砂輪設(shè)備技術(shù),現(xiàn)階段生長(zhǎng)工藝技術(shù)基本成熟,已經(jīng)開(kāi)始成規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),有批量的產(chǎn)品進(jìn)入國(guó)內(nèi)外市場(chǎng),技術(shù)在國(guó)際也有所成績(jī).
      由于熱絲代學(xué)氣相沉積金剛石薄膜技術(shù)的成本較低.設(shè)備簡(jiǎn)單,而且易于大面積生長(zhǎng),因此.該方法能夠生產(chǎn)出低成本,且適宜于工業(yè)應(yīng)用的金剛石薄膜,便熱絲法需要控制因素很多,任何一個(gè)因素控制不好,就會(huì)得到質(zhì)量不好的金剛石砂輪薄膜,甚至沉積不出金剛石薄膜,.所以有必要對(duì)其影響進(jìn)行研究.
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